2015年12月，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金大基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資成立江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司，打造國(guó)內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線。2017年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導(dǎo)體正式發(fā)布電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品。鑫華電子級(jí)多晶硅的自主生產(chǎn)，標(biāo)志著我國(guó)電子級(jí)多晶硅突破海外多年技術(shù)封鎖，填補(bǔ)國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)一項(xiàng)空白。
集成電路用高純硅料項(xiàng)目是工業(yè)和信息化部強(qiáng)基工程中標(biāo)項(xiàng)目、科技部02專項(xiàng)子項(xiàng)目，自去年電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品面世以來(lái)，為了盡快推向市場(chǎng)，鑫華半導(dǎo)體與國(guó)內(nèi)晶圓加工廠廣泛接觸，開(kāi)展新產(chǎn)品測(cè)試，晶圓廠家測(cè)試后，再向下游的芯片廠家提出新產(chǎn)品測(cè)試。一層層測(cè)試下來(lái)，從眾多手機(jī)廠家反饋回來(lái)的信息，沒(méi)有想到國(guó)內(nèi)多晶硅廠家能夠生產(chǎn)出等級(jí)這么高的產(chǎn)品，完全達(dá)到國(guó)際一流電子級(jí)多晶硅各項(xiàng)指標(biāo)。
江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司總經(jīng)理田新告訴記者，就電子級(jí)多晶硅而言，這是鑫華半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)317次電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)試驗(yàn)一年多時(shí)間，對(duì)629項(xiàng)技術(shù)、設(shè)備優(yōu)化改進(jìn)，以70%的國(guó)產(chǎn)設(shè)備，系統(tǒng)性解決了雜質(zhì)釋放問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)，并且全球首創(chuàng)采用自動(dòng)化無(wú)接觸硅料處理系統(tǒng)。目前，公司正在就相關(guān)技術(shù)和工藝申請(qǐng)國(guó)家專利。在5月份實(shí)現(xiàn)對(duì)韓國(guó)出口高純度硅料后，鑫華半導(dǎo)體公司最近還要向我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的晶圓廠家批量供應(yīng)集成電路用硅料。
現(xiàn)在，鑫華半導(dǎo)體公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸，產(chǎn)品向國(guó)內(nèi)國(guó)際市場(chǎng)鋪開(kāi)后，可保證國(guó)內(nèi)企業(yè)三至五年內(nèi)電子級(jí)多晶硅不會(huì)缺貨。未來(lái)兩三年內(nèi)，還將計(jì)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，以更好地滿足國(guó)際國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。
